文章摘要:为实现电子器件的高质量、高密度互联，对激光加工硬脆电子陶瓷基板表面孔的质量提出了更高的要求。综述了长脉冲毫秒激光、短脉冲纳秒激光和超快激光加工电子陶瓷基板孔的形貌特征，主要包括孔的表面形貌特征，如孔口圆度、孔表面喷溅物、孔表面微裂纹和孔表面热影响区等，和孔的侧壁形貌特征，如孔的锥度、孔侧壁重铸层、孔侧壁表面微裂纹等。

文章关键词:

论文分类号:TQ174.7;TN249;TN04

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